LINTEC琳得科质量流量控制器 MC-7100D
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

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LINTEC琳得科质量流量控制器 MC-7100D

质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。由于是利用气体或液体的质量对流量进行控制，故不受温度及压力的影响，可精准地对流体进行控制。质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。

温度	最小压差	最大压差	精度	控制范围	最小F.S.	最大F.S.	密封材
_5~50℃	_50kPa	_300kPa	_±1%S.P.	_2~100%F.S.	_5SCCM	_20SLM	_Au

质流传感器是由缠绕着高温度灵敏系数的阻抗线的上流端(RU)，下流端(Rd)及环境温度补惨式质流传感器(RD)所构成。当气体未流入时。Ru 及 Rd 部分的热量被气体带走，造成温度下降，为维持原本与比的温差，回路会产生电力对Ru及Rd进行加温。利用产生的电力和气体流量的比例做比对、计算出流体的正确流量。加热的电压值是利用补偿环境温度后，补足与质流传感器之温差所得，故质流传感器的电压值不受周围温度影响。

当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。

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